新技术使重要金属制成薄膜生产效率更高
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2021-09-08 16:26:37
科技部合作司
美国明尼苏达大学双城科学与工程学院的研究人员发明了一种更便宜、更安全、更简单的技术,可以将一组“顽固”的金属(包括铂、铱、钌和钨等元素)和金属氧化物制成薄膜,用于许多电子产品、计算机组件和其他应用程序。该研究发表在美国国家科学院院刊 (PNAS) 上。
通常,科学家使用溅射和电子束蒸发等技术合成这些金属薄膜。后者包括在高温下熔化和蒸发金属,并允许在晶片顶部形成薄膜。但这种传统方法非常昂贵,耗能大,且由于使用的电压高,也可能不安全。现在,明尼苏达大学的研究人员已经开发出一种方法,可以在更低的温度下蒸发这些金属,温度低于200℃。通过设计有机配体(碳、氢和氧原子的组合)并将其添加到金属中,研究人员能够显著提高材料的蒸气压,使其更容易在较低温度下蒸发。他们的新技术不仅更简单,而且还制造了易于扩展的更高质量的材料。
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金属
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